(1)为了提高真空系统的抽气速率，可以采用真空泵的并联;为了提高极限真空度，可以采用真空泵的串联。

　　(2)真空管道尽可能取长度短些、直径大些，尽量少出现弯管，少采用直角弯头，以保证管道有足够大的通导能力。高真空管道直径应不小于油扩散泵进口直径，前级真空管道直径，等于前级真空泵进气口直径。

　　(3)为了防止机械泵及罗茨泵的机械震动对真空系统的影响，机械泵及罗茨泵与管道之间应安装橡皮软管或金属波纹管作为减震装置。

　　(4)炉子工作过程中产生的气体或灰尘，影响真空泵的正常运行和使用寿命。以及为了防止真空泵的油蒸气返流进入真空室，真空系统应考虑设置过滤器和捕集器。

　　(5)为了破坏真空室的真空，在真空室和真空泵附近，应设置手动或电磁真空放气阀。

　　(6)真空阀门的设置，应能分段检查真空泵的工作，并能在操作过程中切换真空泵和管路。

　　(7)真空规管应设置在真空室没有油蒸气污染处和真空泵附近。

　　(二)真空系统的组成

　　(1)真空泵

　　(2)真空测量装置

　　以上两部分前面已作介绍

　　(3)真空阀门:真空阀门是真空系统中的重要部件，其作用是用以接通或截止气流。真空系统要求真空阀门对气流有较大的道导能力，动作时间短，密封性好。真空阀门种类较多，从性能上，可分为低真空阀门、高真空阀门、超高真空阀门。从动作.上可分为手动、气动、电动。焙烧炉从结构上分有截止阀、插板阀、翻板闷、裸阀等。现将真空热处理炉常用的真空阀门介绍如下:

　　a)GDQ-J系列高真空气动挡板阀:该阀门用于高真空系统，接通或截止气流。阀门用气压驱功，可以远距离操作，工作可靠，性能稳定，但结构复杂，维修不便，价格较贵。

　　b)GI,GIQ系列高真空蝶阀:GI系列为手动，GIQ系列为气动。该阀结构简单，操作方便，价格便宜。

　　c)GDC-J型、DDC-JQ型电磁真空阀,GDC-J型为高真空挡板式电磁阀，不带放气装置，川于机械泵与扩散泵之间或机械泵与被抽真空室之间，作旁通阀用。DDC-JQ型为低真空挡板式带放气装置的电磁阀，一般安装在机械泵的进口上，与机械泵为同一电71fi'.控制。当机械泵启动时，阀门自动打开，放气部分关闭;当机械泵停车时，阀门自功关闭，放气部分打开，向机械泵内放气，防止机械泵向真空系统返油。